Struttura e principio di funzionamento del trasmettitore di pressione al silicio diffuso

Composizione della struttura del trasmettitore di pressione al silicio diffuso

Poiché l'uscita del sensore di pressioneUPX19è un segnale non standard, nelle applicazioni pratiche, al fine di rendere il sensore universale e facilitare la trasmissione e la registrazione del segnale, il sensore viene utilizzato in combinazione con un circuito di ingresso del segnale standard per emettere un segnale standard. Il sensore che emette il segnale standard in questo momento è chiamato trasmettitore di pressioneUPB13.

In breve, il trasmettitore viene sviluppato gradualmente dal sensore. Il trasmettitore di pressione al silicio diffuso studiato in questo articolo è composto principalmente da sensore MEMS, capsula di misura, interfaccia e circuito di elaborazione (smart circuit board).

Il sensore di pressione e il sensore di temperatura a diodo sono imballati sulla parte superiore della capsula di misurazione e il corpo della capsula è bloccato da due flange di tenuta per formare la parte di misurazione del trasmettitore, che è responsabile della conversione del segnale di pressione da misurare al luogo di lavoro in un segnale di tensione. Inoltre, un circuito elettronico, un'intestazione del display a cristalli liquidi e un terminale di collegamento costituiscono la parte del display, che è responsabile della conversione del segnale di tensione in uscita dal sensore a 4-20 mA attraverso l'amplificazione, quindi dell'emissione di un segnale di corrente standard.

Principio di funzionamento del trasmettitore di pressione al silicio diffuso

Basato sull'effetto piezoresistivo del silicio monocristallino, un componente elastico viene fabbricato in una certa direzione sul wafer di silicio con una tecnologia di elaborazione microelettromeccanica avanzata e quattro resistori sensibili alla forza con uguale resistenza sono fabbricati dalla tecnologia dei circuiti integrati nella posizione corretta, che si collega a un ponte di Wheatstone. Una tensione (corrente) costante viene applicata al ponte e la pressione misurata viene trasmessa al chip di silicio attraverso l'olio di silicone sigillato nella capsula di misurazione senza perdite, quindi il trasmettitore emette un segnale di tensione linearmente proporzionale alla pressione da misurare, quindi il segnale di tensione viene amplificato e convertito in un segnale standard a due fili tramite circuiti elettronici.

Per riassumere:

Si può sapere dal suo principio di funzionamento che il sensore di pressione è una parte importante del trasmettitore di pressioneUPB1, e la principale fonte di deriva della temperatura del trasmettitore è la deriva della temperatura del sensore di pressione al silicio. L'attuale ricerca sulla compensazione della deriva di temperatura dei trasmettitori di pressione in silicio è anche focalizzata principalmente sulla parte dei sensori di pressione in silicio.

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