Caratteristiche dei sensori di pressione diffusi al silicio

Caratteristiche del sensore di pressione al silicio diffusoUPX19

1. È adatto per realizzare trasmettitori su piccola scala: l'effetto piezoresistivo della resistenza sensibile alla forza del chip di silicio non ha zone morte nella sezione di portata bassa vicino al punto zero e la portata del sensore di pressione può essere la stessa piccolo come diversi Kpa.

2. Sensibilità di uscita elevata: il fattore di sensibilità della resistenza alla deformazione del silicio è da 50 a 100 volte superiore a quello degli estensimetri metallici, quindi la sensibilità del sensore corrispondente è molto elevata e l'uscita della gamma generale è di circa 100 mV. Pertanto non esistono requisiti speciali per il circuito di interfaccia ed è più comodo da usare.

3. Alta precisione: poiché la sensazione del sensore, la conversione sensibile e il rilevamento sono realizzati dallo stesso componente, non esiste un collegamento di conversione intermedio e la ripetibilità e l'errore di isteresi sono piccoli. Poiché il silicio monocristallino stesso è molto rigido e la deformazione è piccola, è garantita una buona linearità.

4. Poiché la deformazione unisessuale del pezzo è bassa quanto l'ordine della micro-deformazione, lo spostamento massimo del chip elastico è nell'ordine dei sub-micron, quindi non c'è usura, fatica, invecchiamento e il la durata è pari al ciclo di pressione 1×103, con prestazioni stabili e alta affidabilità.

5. Grazie all'eccellente resistenza alla corrosione chimica del silicio, anche i sensori di pressione diffusa al silicio non isolati hanno la capacità di adattarsi in misura considerevole a vari mezzi.

6. Poiché il chip adotta un processo integrato e non ha parti di trasmissione, è di piccole dimensioni e leggero.

Per i dettagli, si prega di contattareStella Meng.