Caratteristiche dei sensori di pressione al silicio diffusi

Rispetto ai sensori di altri principi, i sensori di pressione diffusa al silicio presentano le seguenti caratteristiche:

1. Adatto per realizzare sensori a piccolo raggio. L'effetto piezoresistivo del resistore sensibile alla forza del chip di silicio non presenta zone morte nella gamma bassa prossima allo zero e la portata del sensore di pressione può essere piccola fino a diversi Kpa.

2. Sensibilità ad alto rendimento. Il fattore di sensibilità della resistenza alla deformazione del silicio è 50-100 volte superiore a quello dell'estensimetro in metallo, quindi la sensibilità del sensore corrispondente è molto elevata e l'uscita della portata generale è di circa 100 mV. Pertanto, non vi sono requisiti speciali per il circuito di interfaccia ed è più comodo da usare.

3. Alta precisione. Poiché il rilevamento, la conversione sensibile e il rilevamento del sensore sono realizzati dallo stesso componente, non esiste un collegamento di conversione intermedio e gli errori di ripetibilità e di isteresi sono piccoli. Poiché il silicio monocristallino stesso ha grande rigidità e poca deformazione, è garantita una buona linearità.

4. A causa della bassa deformazione dell'unità di lavoro nell'ordine della micro-deformazione, lo spostamento massimo del chip elastico è nell'ordine dei sub-micron, quindi non c'è usura, fatica, invecchiamento e il servizio la durata è pari a 1×103 cicli di pressione, con prestazioni stabili e alta affidabilità.

5. Grazie alle eccellenti prestazioni anticorrosive chimiche del silicio, anche i sensori di pressione diffusi al silicio non isolati hanno un notevole grado di capacità di adattarsi a vari mezzi.

6. Poiché il chip adotta una tecnologia integrata e non ha parti di trasmissione, è di piccole dimensioni e leggero.

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